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    電子工業(yè)氣體六氟化硫、氯化氫技術(shù)指標

    2016-1-4 14:29:05

    0
     
    電子工業(yè)用六氟化硫（SF6）
    項目名稱
    范圍
    指標
    SF6純度（體積分數(shù)）/10-2
    ≥
    99.99
    空氣含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    50.0
    CF4含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    15.0
    H2O含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    8.0
    酸度（以HF計）（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    1.0
    可水解氟化物（以HF計）（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    1.0
    其他雜志（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    15.0
    雜志總和（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    100
    顆粒
     
    由供需雙方商定
     
    電子工業(yè)用氯化氫（HCL）
    項目名稱
    范圍
    指標
    Hcl純度（體積分數(shù)）/10-2
    ≥
    99.999
    O2+Ar含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    1
    N2含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    2
    CO含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    2
    CO2含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    2
    CH4含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    0.5
    烴類（C1~C3）含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    1
    H2O含量（體積分數(shù)）/10-6
    ≤
    1
    金屬離子含量（Fe）/10-6
     
    0.5
    其他離子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（質(zhì)量分數(shù)）/10-6
     
    -
    電子工業(yè)用氣生產(chǎn)廠家譜源氣體專業(yè)供應(yīng)各種電子氣體，電子氣體主要用于大規(guī)模集成電路、液晶屏、太陽能電池、光電半導(dǎo)體、光導(dǎo)纖維等行業(yè)。
     
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